PFEIFFER真空泵的拆卸步驟
1．放油
2．松開進氣咀法蘭螺釘，拔出進氣咀，松開氣鎮法蘭螺釘，拔出氣鎮閥。
3．拆下油箱。
4．拆除止回閥開口銷，拆下止回閥葉輪。
5．拆除支座與泵的連接螺釘，拆下泵部裝件，電機拆否視方便而定。
6．松開泵蓋螺釘，拆下泵蓋，拉出二轉子及旋片。拆下低級轉子時，麻先拆下開口銷。
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